一、當正在鍍膜時真空度突然下降
1.蒸發(fā)源水路膠罔損環(huán)(更換膠罔)
2.坩堝被打穿(更換坩堝)
3、高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)
4.工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞(更換膠圈)
5、預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)
6、高閥突然關(guān)閉可能是=位五通閥損壞(更換二位五通閥)
7.機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常)
8、烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠罔)
9.擋板動密封處膠固損壞(更換膠園)
10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃)
二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空:
1.蒸發(fā)室有很多粉塵(應(yīng)清冼)
2.擴散泵很久未換油(應(yīng)清冼換油)
3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低(應(yīng)清冼換油)
4、各動密封膠圈損壞(更換膠園)
5.由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠園老化(更換膠因)
6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠罔損壞(更換膠圈)
7.各引入座螺釘螺母有無松動現(xiàn)象(重新壓緊)
8、高低預(yù)閥是否密封可靠(注油)。