在PVD真空鍍膜過程中，表面的清潔處理十分重要，直接影響產(chǎn)品的電鍍質(zhì)量。進(jìn)鍍膜室之前必須經(jīng)過認(rèn)真的鍍前清洗處理，表面污染來自工件的加工、輸送，在包裝過程中附著的各種灰塵、潤(rùn)滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等，為避免加工時(shí)引起的不良反應(yīng)，在PVD真空鍍膜加工過程中，廠家一般可以通過去油或化學(xué)清洗的方法去除。

  對(duì)于已清洗過、不能存放于大氣環(huán)境的潔凈表面，應(yīng)采用密封容器或保潔箱儲(chǔ)存，減少塵垢。在新氧化鋁容器中儲(chǔ)存玻璃底板，可以將對(duì)烴類蒸汽的吸附降到Z低。這樣的容器更傾向于吸附烴類。對(duì)于高不穩(wěn)定性、對(duì)水汽敏感的真空鍍膜加工，一般應(yīng)儲(chǔ)存在真空干燥箱中。

  采用PVD真空鍍膜處理,清除鍍膜室內(nèi)的塵埃，設(shè)置潔凈度高的工作間，保持室內(nèi)高度清潔，是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求。在空氣濕度大的地方，除鍍前要對(duì)基片、真空室各部件仔細(xì)清洗外，還要進(jìn)行烘烤除氣。為了防止油進(jìn)入真空室，應(yīng)注意油擴(kuò)散泵返油，對(duì)高熱能的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。